1.硬件控制系統。該坐標測量機系統包括電力驅動系統和控制柜。電驅動系統包括氣墊、鋼帶、摩擦輥、電機、過濾器、調壓閥、氣壓計等多部分，控制柜具有糾錯功能，可對坐標進行實時動態修正測量機和傳感器，以保證測量結果的準確性。
2、探針系統。三坐標測量機的測頭系統包括測頭、吸盤、測頭、光柵尺和讀數頭等；每個組件都有自己的特點和功能，缺一不可。如果缺少任何組件，將導致整體無法正常工作。
3.數據處理軟件系統。它是一種測量軟件。通過該軟件，可以將CAD數據轉換為測量程序，從而獲得準確的檢測方案。
4. 其他部分。包括電磁閥、支撐底座、減震器、三軸導軌平衡油缸、花崗巖臺面等，這些部件雖然不是主要設備，但都非常重要，作用不容忽視。
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