壓縮空氣維護
由于壓縮空氣在三坐標測量儀的正常運行中起著非常重要的作用，因此氣源的維修和保養就顯得尤為重要。其中主要有以下幾項：
1、每天使用三坐標測量儀前檢查管路和過濾器，放出過濾器和空壓機或儲氣罐內的水和油。
2、一般情況下，隨機過濾器和預過濾器的濾芯應在3個月內清洗一次。應縮短空氣質量差的周期。由于過濾器的濾芯在過濾油水時被油污堵塞，時間過長會降低測量機的實際工作氣壓，影響三坐標測量機的正常運行。務必定期清潔濾芯。
鐵路維修
三坐標測量機的導軌是測量機的基準，只有保養好氣浮塊和導軌才能保證測量機的正常運行。三坐標測量儀導軌的保養除了經常用酒精和脫脂棉擦拭外，還應注意不要將零件和工具直接放在導軌上。尤其是花崗石導軌，由于質地較脆，任何小的磕碰都會造成擦傷，如果不及時發現，夾渣會損壞氣墊塊和導軌。養成良好的工作習慣，在下方墊布或橡膠墊，以確保導軌的安全。
工作完成或零件完成后擦拭導軌。每天擦拭導軌上的油污和灰塵，以保持氣浮導軌的正常工作狀態。
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