壓縮空氣質量的好壞直接影響到三坐標測量機的正常運行和使用壽命。不理想的是，空氣源中含有相當多的雜質，主要分為三類，分別是水、油和灰塵； 80%左右是尺寸如果上限小于2μm，空壓機的吸氣過濾器是無法消除的。此外，空壓機系統內部會不斷產生磨屑、銹渣和油碳化物，加速耗氣設備的磨損，造成密封失效或堵塞；

水分：大氣中的相對濕度一般高達65%以上。經壓縮冷凝后，變成潮濕的飽和空氣，夾帶大量液態水滴。它們是管道、閥門、三坐標測量機等設備腐蝕的根本原因。堵塞氣動系統中的小孔通道。值得注意的是，即使分離干凈純凈的飽和空氣，隨著溫度的降低，冷凝水仍會析出。大約每降低10℃，飽和水含量就會下降50%，即有一半的水蒸氣轉化為液滴。

油：壓縮機分為活塞式和螺桿式；大多數空壓機使用潤滑油來潤滑和冷卻其運動部件（如螺桿、活塞等），但它們會污染壓縮空氣。在空壓機中，潤滑油與高溫壓縮空氣直接接觸，壓縮空氣中的油漬以三種形式存在：“油滴”、“油霧（氣溶膠）”和“油蒸氣” .從壓縮機帶到供氣系統的油在任何情況下都是無益的。

三坐標測量機工作原理：

三坐標測量機是一種精密測量儀器，采用空氣軸承導向，實現導軌間無摩擦磨損，能保持長期性能均勻性。高壓氣體通過空氣軸承中的小孔（下圖紅圈位置）進入工作面與導軌面之間，形成均勻的氣隙?？諝廨S承的正常工作氣隙在 3 到 10 μm 之間。因此，在常壓條件下，保證壓縮空氣的純度和導軌面的平整度是空氣軸承正常工作的關鍵。

三坐標測量機配備氣源處理組件對壓縮空氣進行凈化是非常重要的！