1，精度高
毫無疑問，三次元測量儀設備擁有者比肉眼觀察到的測量精度要高得多，目前設備已基本能夠滿足1μm測量精度要求，切割不同型號的產品以適應不同的環境，不同的精度需求的測量需求。如由Daisy系列和MGH系列的Edward三坐標測量機，其精度有所不同。
2，效率高
坐標測量機用于自動測量，對于大宗工件的測量，與傳統的測量方法相比，提高了50-100倍的測量效率，是工件測量的革命性變化，傳統的測量方法遠遠落后。
3，功能強大
對于傳統的測量方法，測量表面測量，輪廓測量，復雜的幾何部件測量等是困難的或不可能的。坐標測量機可以配備觸發，掃描，光學或激光測量系統，并配備功能強大的測量軟件（如AC-DIMS），以滿足任何幾何測量要求的幾何。
4，種類繁多
從橋式坐標測量機（如Edward Daisy系列三次元測量儀）到龍門坐標測量機（如Edward Atlas系列坐標測量機）;從地板到地面測量系統到實驗測量系統;從靜止測量系統復合圖像測量系統，便攜式測量系統，坐標測量機可用于航空航天，汽車制造，軌道交通，醫療設備，運動器材，能源，電子，模具，機械制造，標準件制造，教育等。所有的行業，制造業。

CMM探頭校準是測量過程中的重要部分，主要使用標準球進行探頭校準，雖然紅寶石是最常用的三次元測量儀校正球材料，但其他材料可能更適合于接觸式掃描測量。在掃描測量中，三坐標測量機校正球沿工件表面滑動，會產生摩擦和磨損。在極端的情況下，這種長時間的接觸可能導致CMM糾正從球上移除的球材料或粘附到CMM校正球上的工件材料。無論是哪種情況，都會影響CMM的校正球的圓度。當一個坐標測量機校正一個球和工件以保持與工件的恒定接觸時，圓度誤差會不斷增加。